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ダイヤモンドに次ぐ硬度と極めて高い熱伝導率も持つ。
半導体製造装置部品やメカニカルシール部品に最適な素材

炭化ケイ素(SiC)は、非酸化物系ファインセラミックスを代表する高機能材料です。
非常に高い硬度と優れた熱伝導率、低い熱膨張係数、耐薬品性を兼ね備え、過酷な環境で使用される機械部品・半導体製造装置部品に広く採用されています。

素材の詳細

化学式SiC(炭化ケイ素)
黒色〜緑色
密度3.1〜3.2 g/cm³
硬度HV2000〜2800(ビッカース硬度)
融点約2545℃(分解)
焼成温度約2000〜2200℃
熱伝導率120〜200 W/(m·K)
電気特性半導体
耐熱温度約 1400℃程度
熱膨張係数約4.5×10⁻⁶/K

一般的な炭化ケイ素の物性値です。実際の数値とは異なります。

FEATURE

POINT 01

非常に高い硬度と耐摩耗性

炭化ケイ素はビッカース硬度 HV2000〜2800 と、構造用セラミックスの中でも最高クラスの硬度を持ちます。
高い耐摩耗性により、メカニカルシール・ポンプ部品・摺動部品・研磨材など、摩耗が問題となる用途で長寿命化に貢献します。

POINT 02

構造用セラミックスとして最高クラスの熱伝導率

120〜200 W/(m·K) の高い熱伝導率を持ち、主要な構造用セラミックスの中でトップクラスの放熱性能を発揮します。
アルミナの約 6〜10 倍の熱伝導率で、パワー半導体基板・熱交換器・ヒーター周辺部品など、熱管理が重要な用途に最適です。

POINT 03

高温環境での優れた強度保持

炭化ケイ素は高温でも強度低下が小さく、1400℃付近まで安定した機械特性を維持します。
特に固相焼結 SiC(SSiC)は高温強度に優れ、高温構造材料として使用されています。

POINT 04

優れた耐薬品性

多くの酸・薬品に対して高い耐性を持ち、化学的に非常に安定しています。
ただし、強アルカリ(NaOH・KOH)などでは腐食が進む場合があるため、使用条件の確認が必要です。
化学プラント部品・ケミカルポンプ・反応容器など、薬品環境での長期使用に適しています。

POINT 05

低い熱膨張係数と高い耐熱衝撃性

熱膨張係数が小さく(約 4×10⁻⁶/K)、温度変化による寸法変化が少ない材料です。高い熱伝導率との組み合わせにより、優れた耐熱衝撃性を発揮し、精密部品・ステージ部品・測定機器など、高精度が求められる用途に適しています。

POINT 06

半導体特性(ワイドバンドギャップ材料)

炭化ケイ素は半導体特性を持ち、特に 4H-SiC は
・バンドギャップ:3.26 eV(Si の約3倍)
・高い絶縁破壊電界
・高温動作が可能
といった特性から、パワーデバイス材料として急速に普及しています。
電気自動車のインバーター、太陽光発電のパワーコンディショナーなどで採用が進んでいます。

SOLUTION

炭化ケイ素の優れた特性は、さまざまな産業分野の課題を解決します。「摺動部品が摩耗する」「高温で放熱性が必要」「薬品環境で使用したい」など、過酷な環境で使用される部品の課題に、炭化ケイ素が最適な解決策を提供します。

課題1 メカニカルシール・ポンプ部品の摩耗

実績のある業種

ポンプメーカー ・製造装置メーカー ・化学プラントメーカー

対応実績のある部品

メカニカルシール ・ポンプ部品 ・摺動部品 ・軸受 ・シール部品

よくある課題

摩耗が激しく交換頻度が高い。
薬品環境でも使える素材が必要。

解決

炭化ケイ素は、極めて高い硬度と優れた耐摩耗性を持ち、優れた摺動性により、メカニカルシールやポンプ部品として長期間使用できます。
耐薬品性にも優れ、過酷な薬品環境でも安定した性能を発揮します。

課題2 半導体製造装置部品に高い放熱性と耐薬品性が必要

実績のある業種

半導体製造装置メーカー ・半導体メーカー

対応実績のある部品

ウェハーフォーク ・チャック ・突き上げピン ・搬送アーム ・ステージ部品

よくある課題

高い放熱性が必要。
プラズマ・薬品環境で使用したい。
熱変形を抑えたい。

解決

炭化ケイ素は、セラミックス最高の熱伝導率を持ち、効率的に熱を逃がすことができます。
耐薬品性とプラズマ耐性に優れ、熱膨張係数が小さいため、半導体製造装置部品として最適です。

課題3 熱交換器やヒーター周辺部品に高い熱伝導性が必要

実績のある業種

熱交換器メーカー ・ヒーターメーカー ・炉メーカー

対応実績のある部品

熱交換器伝熱管 ・ヒーター周辺部品 ・バーナーノズル ・炉内部品

よくある課題

熱交換器の効率を上げるために、高い熱伝導性の素材が必要。
高温環境で使用でき、熱を効率的に伝える素材を探している。
耐熱性と熱伝導性を両立した素材が必要。

解決

炭化ケイ素は、セラミックス最高の熱伝導率(120〜200 W/(m·K))を持ち、金属に匹敵する放熱性能を発揮します。
高温環境(1500〜1600℃)でも使用でき、熱交換器やヒーター周辺部品として最適です。

課題4 化学プラント部品が薬品により劣化してしまう

実績のある業種

化学プラントメーカー ・薬品メーカー ・ケミカルポンプメーカー

対応実績のある部品

ケミカルポンプ部品 ・配管部品 ・バルブ部品 ・反応容器部品

よくある課題

強酸や強アルカリ環境で、部品が腐食・劣化してしまう。
薬品環境でも長期間使用できる、耐薬品性の高い素材が必要。
高温の薬品環境でも使用したい。

解決

炭化ケイ素は、ファインセラミックスの中でも特に優れた耐薬品性を持ち、化学的に非常に安定しています。
アルカリや酸にも侵されにくく、ケミカルポンプや化学プラント部品として最適です。

課題5 高精度部品に熱変形を抑えたい

実績のある業種

精密機械メーカー ・検査装置メーカー ・半導体製造装置メーカー

対応実績のある部品

精密治具 ・検査装置部品 ・測定機器部品 ・ステージ部品

よくある課題

温度変化により部品が熱変形し、精度が低下してしまう。
熱膨張係数の小さい素材が必要。
高精度な位置決めが求められる部品に使用したい。

解決

炭化ケイ素は、熱膨張係数が非常に小さく(約4.5×10⁻⁶/K)、温度変化による寸法変化が最小限です。
高い熱伝導率により熱を効率的に逃がし、高精度が求められる部品に最適です。

WORKS

精密機械メーカー、電子機器メーカー、製造装置メーカーなど、
多くの企業様にご利用いただいています。

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